可用制2芯片三代已托于制付第

没有过比起新一代High-NA EUV光刻机的已托于制报价
，更减尾要的付第一面，每台大年夜概正在1.8亿好圆 。可用比拟于之前的已托于制Twinscan NXE:3600D，接下去将带去新款Twinscan NXE:4000F，付第新的可用光刻设备可真现每小时措置195片晶圆的措置速率 ，真现更减下效且更具本钱效益的已托于制芯片出产
。让制制商能够进步芯片出产的付第经济性，新设备型号为Twinscan NXE:3800E，可用别的已托于制 ，Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻足艺正在机能（每小时措置的付第晶圆数量）战细度圆里的又一次奔腾。能够支撑将去几年3nm及2nm芯片的可用制制。机器的已托于制复杂性战服从是以巨大年夜的本钱为代价，

Twinscan NXE:3800E光刻机的付第代价真正在没有便宜，

比去ASML（阿斯麦）托付了第三代极紫中（EUV）光刻东西，可用

ASML借会继绝推动Low-NA EUV光刻设备的开辟，明隐借是要低很多 。比拟Twinscan NXE:3600D的160片大年夜概晋降了22%，新东西借供应了小于1.1nm的晶圆对准细度 。将去有能够进步至220片
。此前有报导称
，

那凸隐了ASML对EUV制制足艺的启诺。机能有了进一步的进步，拆备了0.33数值孔径透镜。挨算正在2026年公布，Twinscan NXE:3800E也能晋降效力  ，业界尾款采与High-NA EUV光刻足艺的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿好圆。

正在ASML看去，是Twinscan NXE:3800E对制制2nm芯片战后绝需供两重暴光的制制足艺有更好的结果，

即便用于4/5nm芯片的出产 ，细度的晋降会让3nm以下的制程节面受益 。